Выпускник физико-химического факультета Московского института стали и сплавов 1956 года.
В 1956—1958 годах начальник лаборатории Пензенского дизельного завода.
В 1961—1967 годах (последовательно) ассистент, старший преподаватель, доцент филиала Московского института стали и сплавов в городе Электростали. Кандидат физико-математических наук (1964).
C 1967 года (последовательно) доцент, декан факультета повышения квалификаций, заведующий кафедрой общей физики и кафедрой физики и технологии интегральных микросхем, проректор по научной работе, ректор Московского государственного института электронной техники (1988—1998), главный конструктор научного-производственного комплекса «Технологический центр» МИЭТ (НПК ТЦ МИЭТ).
Кавалер ордена Трудового Красного Знамени, ордена Дружбы народов, ордена «За заслуги перед Отечеством» IV степени (1999), лауреат премии Правительства Российской Федерации в области науки и техники (2001).